コーティング技術解説コラム
薄膜を活かす、使う

成膜材料と薄膜の特性・用途

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成膜材料 詳細 薄膜の特性 用途例
AI
アルミニウム
  • 融点:660°C
  • 沸点:2,060°C
真空蒸着の薄膜材料として、最も汎用に使用されている。
薄膜は、展性もあり電気伝導性を持ち、銀色の金属光沢も鮮やかで、光を反射する。
フィルムに成膜すると、ガスバリア機能を発揮する。
デザイン性
ガスバリア性
光沢/光反射性
軽量/高輝度
導電性
装飾
軟包装
建材
Ag
  • 融点:962°C
  • 沸点:2,162°C
熱伝導率、電気伝導率および可視光線の反射率は、金属の中で最大である。特に光の反射率は高く、白い銀色で光学の反射用に最適である。薄膜の耐アルカリ性はあるが、腐食は早いため、腐食防止が必要。
また抗菌性も注目されている。
光高反射性
デザイン性
抗菌性
光学膜
装飾
抗菌
Au
  • 融点:1,064°C
  • 沸点:2,856°C
熱伝導性、電気伝導性に優れた特性を持ち、ほとんどの化学的な腐食に対し非常に強い。
金色の柔かい光沢があり、薄膜の透過光は緑色に見える。可視光、非可視光とも、良く反射する。
デザイン性
熱線反射性
紫外線反射
装飾
光学膜
Ti
チタン
  • 融点:1,668°C
  • 沸点:3,287°C
耐食性に強く、強度、軽さ、高温に耐える。接着性はやや劣るが、表面の汚れなどの付着が簡単に取れる特長を持つ。展性・延性に富み引長強度が大で、硬く柔らかく強い物質で、灰色がかった銀色の金属光沢である。骨と結合する性質、生体との親和性が高く金属アレルギーを起さない。ニオブなどとの合金は、超伝導素材となる。 デザイン性
光高反射性
耐食・耐候性
生体親和性
光学膜
耐食・耐候
建材
TiO2
酸化チタン
無色で光電効果を持つ金属酸化物。
代表的な光触媒の機能を持ち、表面に付いた有機物を分解する。
強い酸化作用で、水を酸素と水素に分解する。
超親水作用で水滴ができず、油汚れも雨水などで洗浄されるセルフクリーニングの作用もある。
光触媒
光の高屈折
光触媒
光学膜
親水
建材
Ni
ニッケル
  • 融点:1,455°C
  • 沸点:2,913°C
耐食性に強く、電気抵抗が高い。鉄よりは劣るが、強磁性体の物質で、鉄族に分類される。ニッケル・水素蓄電池、ニッケル・カドミウム蓄電池の二次電極の正極に使用される、銀白色の金属光沢である。 耐食・耐候性
電気抵抗
強磁性
耐食・耐候
電気デバイス
建材
Cu
  • 融点:1,084°C
  • 沸点:2,567°C
耐食性は高く、銀の次に、電気伝導性に優れた特性を持ち、電気の配線・回路などに使用される。
また、銅イオンは殺菌作用を持ち、抗菌性も利用される。
赤茶色の金属光沢である。
導電性
抗菌性
電気デバイス
抗菌
Cr
クロム
  • 融点:1,907°C
  • 沸点:2,671°C
硬くて強く、耐食性も強く、高融点の物質。
超薄膜であっても強固であり、各種材料物質の成膜の下地として利用することもある。
耐候性にも優れ、白銀色の金属光沢を失わない。
耐食・耐候性
堅牢性
デザイン性
耐食・耐候
装飾
建材
Sn
スズ
  • 融点:232°C
  • 沸点:2,270°C
融点が低く、比較的に無害な金属。
適度な硬度で、酸化や腐食に強い。
銀白色の金属光沢である。
デザイン性
伸縮性
装飾
建材
ITO
酸化インジウム錫
インジウムとスズの酸化物。
透明でありながら導電性があり、FPDの電極に使用される。また、熱線カットや電磁波シールドとして利用される。
透明導電性 透明電極
電気デバイス
AI2O3
アルミナ
酸化アルミニウム
  • 融点:2,020°C
  • 沸点:3,000°C
アルミニウムの酸化物、白色の粉末であり、セラミックス材料の一つで融点、沸点は高い。
フィルムに成膜すると、透明でありながら、ガスバリア機能を発揮する。
透明ガスバリア性 軟包装
透明ガスバリア
SiO2
シリカ
二酸化ケイ素
  • 融点:1,650°C
  • 沸点:2,230°C
ケイ素の酸化物、無色透明の粉末であり、無機ガラスの主成分である。フィルムに成膜すると、透明でありながら、ガスバリア機能を発揮する。 透明ガスバリア性
光の反射防止性
軟包装
透明ガスバリア
MgF2
フッ化マグネシウム
  • 融点:1,263°C
  • 沸点:2,227°C
無機化合物の一種、白色の結晶粉末である。透過の波長領域を持ち、紫外域で偏光素子に用いられる。
薄膜の耐湿も優れ、紫外域から赤外域にかけて透明であり、光学薄膜として機能を利用される。
光の吸収・偏光性 光学膜
Pt
プラチナ
  • 融点:1,768°C
  • 沸点:3,825°C
化学的に非常に安定しており、装飾品に多く利用される。また、自動車の排気ガス浄化触媒として利用される。さらに水素化反応の触媒として、燃料電池への利用もある。白い銀色の金属光沢である。 デザイン性
触媒機能
装飾
触媒
SUS
ステンレス
鉄に耐食性を向上させるため、クロムを含有させた合金。表面は酸化されにくく、錆びないため意匠性の用途に使用される。 耐食・耐候性
デザイン性
耐食・耐候
装飾
Nb2O5
五酸化ニオブ
酸化膜を作り、耐食性、耐酸性がある。
高屈折率の光学ガラスの添加剤として、自動車、建材用ガラス、ディスプレー用の低反射膜の代表である。
光の吸収・偏光性 光学膜
ZnO
酸化亜鉛
  • 融点:1,975°C
  • 沸点:°C
白色の粉末で熱すると黄色くなるが、冷やせば元に戻る。薄膜は、透明で導電性を持ち、FPDの電極として使用される。また、半導体でもあり発光デバイスなどへの応用も期待されてる。 透明導電性 透明電極
電気デバイス