用語集
英数字
- Å(オングストローム angstrom)
- CVD(Chemical Vapor Deposition)
- nm(ナノメートル nano meter)
- Pa(パスカル Pascal)
- PVD(Physical Vapor Deposition)
- Roll to Roll(ロールツーロール)
あ行
か行
さ行
- サイクロトロン運動(cyclotron movement)
- 酸化物(oxide)
- 蒸気圧(vapor pressure)
- 蒸発源(vapor source)
- 触媒(catalyst)
- 真空(vacuum)
- 親水作用(hydrophilicity action)
た行
は行
- 薄膜(thin film, thin layer)
- 反応性ガス(reactive gas)
- 不活性ガス(inert gas)
- 付着力・密着力(adhesion)
- プラズマ(plasma)
- 平均自由行程(mean free path)
- 膜厚(thickness)