用語集 英数字
Å（オングストローム angstrom）
オングストロームは、長さの単位。
定義は、1Å=100億分の1m（メートル）=0.1nm（ナノメートル）=100pm（ピコメートル）。
電磁波の波長、膜の厚さ、表面の粗さ、結晶格子などの長さの計量に使用される。
以前は、ドライコーティングで薄膜の厚みを表す単位として、オングストロームを使用していた。
CVD（Chemical Vapor Deposition）
CVD 化学気相成長法（化学的蒸着）は、様々な物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつ。
成膜する膜の成分を含む原料ガスを供給し、熱、プラズマ、光などのエネルギーを加え化学反応により、
基材・基板の表面に薄膜を形成する方法。
切削工具の表面処理や半導体素子の製造工程に使用される。
nm（ナノメートル nano meter）
ナノメートルは、国際単位系の長さの単位。
●1nm=十億分の1m（メートル）=百万分の1mm（ミリメートル）=0.001μm（マイクロメートル）
●1nm=10Å（オングストローム）
電子デバイスでは、ナノメートルの単位領域で技術開発が行われている。
そのため半導体産業などでは、ナノテクノロジーという言葉がよく使われている。
Pa（パスカル Pascal）
Pa（Pascal）は、国際単位系（SI）の圧力・応力の単位。
●1Pa=0.01hPa（ヘクトパスカル）=7.5×10-3Torr（トル）
●1Torr=1mmHg
●1気圧（大気圧）=101325Pa=1013hPa=760Torr=760mmHg（水銀柱ミリメートル）
以前は真空の単位をTorrで表していたが、現在ではPaを使用する。
PVD（Physical Vapor Deposition）
PVD 物理気相成長法（物理的蒸着）は、様々な物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつ。
膜となる成膜物質を加熱、スパッタリング、イオンビーム照射、レーザー照射などで、
原子・分子の状態で蒸発・飛散させ、基材・基板の表面に薄膜を形成する方法。
Roll to Roll（ロールツーロール）
紙、プラスチックフィルムなどのロール状に巻いた物を、巻き出しながら印刷、
表面処理など様々な加工を連続的に行い、巻き取りでロール状に巻き上げる方式。