技術・研究開発
Technology/R&D

用語集 英数字

Å(オングストローム angstrom)

オングストロームは、長さの単位。
定義は、1Å=100億分の1m(メートル)=0.1nm(ナノメートル)=100pm(ピコメートル)。
電磁波の波長、膜の厚さ、表面の粗さ、結晶格子などの長さの計量に使用される。
以前は、ドライコーティングで薄膜の厚みを表す単位として、オングストロームを使用していた。

CVD(Chemical Vapor Deposition)

CVD 化学気相成長法(化学的蒸着)は、様々な物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつ。
成膜する膜の成分を含む原料ガスを供給し、熱、プラズマ、光などのエネルギーを加え化学反応により、
基材・基板の表面に薄膜を形成する方法。
切削工具の表面処理や半導体素子の製造工程に使用される。

nm(ナノメートル nano meter)

ナノメートルは、国際単位系の長さの単位。
●1nm=十億分の1m(メートル)=百万分の1mm(ミリメートル)=0.001μm(マイクロメートル)
●1nm=10Å(オングストローム)

電子デバイスでは、ナノメートルの単位領域で技術開発が行われている。
そのため半導体産業などでは、ナノテクノロジーという言葉がよく使われている。

Pa(パスカル Pascal)

Pa(Pascal)は、国際単位系(SI)の圧力・応力の単位。
●1Pa=0.01hPa(ヘクトパスカル)=7.5×10-3Torr(トル)
●1Torr=1mmHg
●1気圧(大気圧)=101325Pa=1013hPa=760Torr=760mmHg(水銀柱ミリメートル)

以前は真空の単位をTorrで表していたが、現在ではPaを使用する。

PVD(Physical Vapor Deposition)

PVD 物理気相成長法(物理的蒸着)は、様々な物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつ。
膜となる成膜物質を加熱、スパッタリング、イオンビーム照射、レーザー照射などで、
原子・分子の状態で蒸発・飛散させ、基材・基板の表面に薄膜を形成する方法。

Roll to Roll(ロールツーロール)

紙、プラスチックフィルムなどのロール状に巻いた物を、巻き出しながら印刷、
表面処理など様々な加工を連続的に行い、巻き取りでロール状に巻き上げる方式。