技術・研究開発
Technology/R&D

用語集 ま行

マイグレーション効果(migration effective)

PVDで、成膜材料の粒子(原子・分子)を蒸発・飛散させて基板・基材に付着・堆積させる過程において、基板・基材に到達した時点の成膜材料の粒子は細かく動き回り凝集し、薄膜を形成する。その、成膜材料粒子の移動・凝集を、PVDではマイグレーション効果と言う。
成膜材料粒子の運動エネルギーが小さいと、マイグレーション効果も小さく、形成される薄膜の密着力や密度が低くなる場合がある。イオンプレーティング技術を用いると、成膜材料粒子がガスプラズマで励起・イオン化されて高運動エネルギーを持ち、マイグレーション効果が高くなって、密着力の向上ならびに緻密な薄膜の形成が可能となる。

メッキ(plating)

メッキとは、素材に金属の薄い膜をつけるプロセスおよびその技術のこと。
目的を大きく分けると、装飾性、耐食性、機能性の3つがあげられ、工業製品にはなくてはならない重要な技術である。
メッキの方法は、真空中など非水溶液中で表面処理を行なう乾式メッキ、メッキする金属の溶けた溶液中などで表面処理を行なう湿式メッキの2つに大きく分類される。

乾式:物理的蒸着(PVD)、化学的蒸着(CVD)
湿式:電解メッキ、無電解メッキ、溶接メッキ